摘要：請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明書，并妥善保存，以備日后維護(hù)時(shí)參考 。 1-1 風(fēng)機(jī)過濾器單元 風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。 風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)