特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為*的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。

祿米實(shí)驗(yàn)室氣體管道系統(tǒng)工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。