廣州祿米承接實(shí)驗(yàn)室空氣管道設(shè)計(jì)安裝
實(shí)驗(yàn)室在使用高純氣體時(shí)存在著各類(lèi)危險(xiǎn)因素，氣瓶本身的超高壓會(huì)使氣路部件產(chǎn)生崩裂的危險(xiǎn)，同時(shí)根據(jù)氣體性質(zhì)，又分為易燃易爆、有毒、易腐蝕等各類(lèi)危險(xiǎn)，如何安全有效的將氣體輸送到使用點(diǎn)，是氣路系統(tǒng)要解決的問(wèn)題。采用專(zhuān)用減壓設(shè)備、專(zhuān)用輸氣管路、專(zhuān)用探測(cè)報(bào)警設(shè)備以及專(zhuān)用切斷泄壓設(shè)備等，使危險(xiǎn)情況降到***低，或發(fā)生危險(xiǎn)狀況時(shí)*時(shí)間報(bào)警并自動(dòng)進(jìn)行緊急處理。
          實(shí)驗(yàn)室常用氣體：氦氣、氮?dú)�、氬氣、乙炔、甲烷、丙烷、氫氣、空氣�?br />           1、供氣系統(tǒng)包括氣源集合壓力控制部分、輸氣管線(xiàn)部分、二次調(diào)壓分流部分與儀器連接的終端部分。供氣系統(tǒng)要求具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠。
          2、管道、閥件、管件、接頭等，如減壓器、終端壓力調(diào)節(jié)部分、截止閥、焊接接頭等所有部件均為316L不銹鋼材質(zhì)，管路采用BA級(jí)內(nèi)外拋光。
          3、具備確保輸送到儀器的氣體純度的控制措施。
          4、能滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)儀器對(duì)氣體不間斷連續(xù)使用的要求，使用過(guò)程中根據(jù)不同實(shí)驗(yàn)儀器工作條件對(duì)整體或局部氣體壓力、流量進(jìn)行全量程調(diào)整，達(dá)到不同檢驗(yàn)條件的要求。
          5、不銹鋼減壓器的選材要求承受壓力必須大于鋼瓶***大設(shè)計(jì)壓力。
          6、為保證氣密性，除了需要拆卸維護(hù)和與儀器對(duì)接的部位采用卡套連接外，其余輸氣管線(xiàn)部分必須全部采用全自動(dòng)焊接技術(shù)焊接完成。要盡可能減少因接點(diǎn)引起的氣體泄漏，輸氣管路部分轉(zhuǎn)彎處應(yīng)避免或盡可能減少?gòu)濐^的使用。
          7、氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)能對(duì)室內(nèi)的可燃?xì)怏w及大氣氧含量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，并設(shè)置聯(lián)動(dòng)機(jī)制。
          8、設(shè)置鋼瓶、管線(xiàn)等安全保護(hù)措施。
          9、氣源部分由鋼瓶和氣體發(fā)生器供給，確保氣體純度，必須具備輸出的穩(wěn)定性和連續(xù)性。
         10、不銹鋼減壓器必須具備輸出穩(wěn)定性和連續(xù)性，高壓金屬軟管連接鋼瓶必須保證氣密性。
         11、氣體終端壓力調(diào)節(jié)部分：對(duì)主氣路輸送的氣體應(yīng)獨(dú)立控制，進(jìn)氣壓力和出氣壓力顯示，按照不同分析儀器對(duì)氣體使用壓力的不同要求進(jìn)行二次調(diào)壓，必須保證對(duì)實(shí)驗(yàn)室分析儀器有穩(wěn)定的供氣氣流，設(shè)置中斷轉(zhuǎn)換方便不同儀器對(duì)接。

 

氣體種類(lèi)劃分：
    （1）易燃性氣體：把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類(lèi)氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃�？扇家兹�?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

   （2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過(guò)程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類(lèi)的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類(lèi)氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類(lèi)的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
（6）大宗氣體。屬于這類(lèi)氣體有N2，O2，CO2等

 

 

 

 

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